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半导体退火炉
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  • 产品类别: 应用行业 半导体行业 半导体退火炉
  • 产品描述: 设备技术文件 一、设备名称、型号及数量: 1,名称:热处理系统 2.数量:1套 二、设备的用途: 1、主要用于铜-铁(A194)、铜-镍(C7025)、铁-镍(A42)合金引线框架。 2、改善框架产品的连筋到内引线的平面度(LEAD TIP PLANARITY FROM DAM BAR); 3、改善框架产品的扭曲变形及引脚位置(Lead Position) 三、加工产品质量要求 1、热处理后产品不能有变色; 2、热处理后产品表面划伤、变形满足
  • 设备技术文件

    一、设备名称、型号及数量:

    1,名称:热处理系统

    2.数量:1套

    二、设备的用途:

    1、主要用于铜-铁(A194)、铜-镍(C7025)、铁-镍(A42)合金引线框架。

    2、改善框架产品的连筋到内引线的平面度(LEAD TIP PLANARITY FROM DAM BAR);

    3、改善框架产品的扭曲变形及引脚位置(Lead Position)

    三、加工产品质量要求

    1、热处理后产品不能有变色;

    2、热处理后产品表面划伤、变形满足产品图纸要求。

    四、主要技术指标及工艺要求

    1.有效加热:4通道;

    2.有效冷却:4通道;

    5.控温方式:PID调压调功器控制;

    6.仪表控温精度:≤±1℃,炉内实际温度偏差≤±5℃;

    7.炉壁温升:≤40℃;

    8.空炉损耗功率:≤18%;

    9.使用温度:700℃,

    10.冷却段冷却水:冷却水温度10~15℃,由需方提供到设备指定位置:

    11.产品:规格100mm宽、产品厚度0.1-0.305mm;

    12.炉衬形式:采用全纤维压缩块+纤维板复合结构;

    13.加热元件材质:0Cr20Ni80高温镍合金丝(北京首钢产);

    14.加热面:上下辐射管加热;

    15.加热区马弗罐:采用SUS310S不锈钢板折弯密封焊接而成,顶部压弧形加强;

    17.进气口:4个,带电磁阀开关,和N2和H2流量计;

    21.冷却区马弗罐(通道):采用SUS 309S不锈钢板折弯密封焊接而成,顶部压弧形加强;

    23.进出料口带氮气气帘;

    24.加热面:通道上下布置加热元件,每组加热元件都可以单独从炉侧拿出,方便检修;

    25.冷却区:为了提高冷却效果,设计为几节,还可以防止水压力过高引起水套变形和控制马弗膨胀;

    26.冷却水压力:1-2公斤,流量8吨/h;冷却水的流量要根据产品的实时温度自动调整;

    27.冷却区测温点:4个,出料口4个;

    28.冷却水槽外胆采用SUS309不锈钢板折弯焊接制作;

    29.炉体有氧含量控制监控;

    30.氮气、氢气入口处要有流量阀和压力表,并能调节流量和压力;

    31.各参数实现自动化控制,调用、选取方便。

    五、设备的结构配置及性能要求

    主要由炉体、不锈钢密封通道及加热元件及固定装置;电气控制系统(包括放料、清洗、退火、冷却、收料一起联控);炉温自动控制系统、冷却系

    统等组成。

    氮气气源设备配置有电磁阀开关,和气源阀站

    温控系统电气部分

    温度控制:温度控制采用PLC+PID控制,采用日本岛电公司的智能仪表,通过对其合理参数设定,可以达到每个温区控制,利用其在线自整定功能,

    能计算出炉子的PID参数,达到较为理想的温度稳定性。

    加热控制调功器触发形式。从而达到改变其输出加热功率的大小,以实现温区的温度控制。

    加热控制回路中温度超温报警系统;以确保炉内工件和设备的安全。同时给出声光报警。

    所有的交流接触器、快速熔断器、中间继电器、操作开关、按钮、信号指示灯等主要控制器件和操作、显示器件均采用国内外知名厂家(施耐德/欧

    姆龙)生产的可靠产品。电流、电压指示仪表指示灵敏、准确、可靠和寿命长。

    电气控制柜:柜体采用由专业生产厂家按国际电工标准制造的控制柜。柜的尺寸、结构及颜色(见样品)符合当今国内外普遍采用的规范,柜内器件

    安装、配线及标识符合相关标准。

    控制柜至炉体主回路的连线采用铜芯绝缘线;所有线号标识采用专用的线号材料,正规打印,可避免线号脱落;所有地沟内的连线每间隔两米都有线

    号标记,方便维修时检查各线路。

    热处理系统配合于周边设备来使用,温度反馈和温度指令发送给收放线,采用485通讯给放料设备触摸屏,放料设备触摸屏上有实时调节和显示热处

    理系统的所有参数。

    退火温度开机条件与周边设备互锁

    开气阀温度设定

    进出水阀开度设定

    收放线延时开机设定

    氮气延时关闭时间设定

    到温延时时间设定

    氮气延时关闭计时

    六、设备的配制清单

    八、设备信息化要求

    1.主界面显示主菜单,运行界面显示各站运行状态;

    2.设备运行时长,关键部件运行时长计时功能;

    3.工艺参数程序管理:

    3.1.设备管理权限包括操作员、工艺员、工艺工程师权限;

    3.2.由工艺工程师预先建立不同产品的工艺条件及参数包,参数包中每个工艺参数可设置上下偏差;

    3.3.参数包可自由命名,并存储在设备中;

    3.4.使用前通过扫描流程卡或录入产品型号可调用与产品相对应的参数包功能及参数;

    3.5.设备正常运行时可查看正在运行参数包的各项详细参数;

    3.6.产品生产记录和使用的工艺参数可长期保存自动溢出。

    4.设备报警历史记录查询,具有统计报警次数功能,具有TOP5报警统计功能,具有数据导出功能;

    5.设备具有关键工艺数据记录查询功能;

    6.PLC控制器的,PLC配置空余网口,用于设备联网通讯;

    7.热处理控制系统和收放线控制系统通讯。收放线显示屏能看到和热处理系统参数,能把判断好的运行状态(运行、停止、故障)提供给收放线。

    九、供方向需方提供的资料、图纸:


热门关键词: 真空炉        退火炉        回火炉        渗碳炉        氮化炉        熔化炉

热处理工艺

HEAT TREATMENT PROCESS

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应用行业

APPLICATION INDUSTRY

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真空炉、井式真空炉、退火炉


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