真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×（10-2~10-4)Pa。炉内加热

系统可直接用电阻炉丝（如钨丝）通电加热，也可用高频感应加热。高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、

金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。

优点

1）消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱

碳层直接暴露于刃口）切削性能的改善关系。

2）对环境，不需进行三废处理。

3）炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可

控制在±5c温差范围内。

4）机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。

5）能耗显著低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室采用隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果显著。